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VOD-90晶圓芯片高溫烘箱400度真空充氮烤箱

VOD-90晶圓芯片高溫烘箱400度真空充氮烤箱
本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無(wú)氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。
產(chǎn)品型號(hào):
生產(chǎn)地址: 上海
廠商性質(zhì): 生產(chǎn)廠家
發(fā)布時(shí)間: 2024-09-26

產(chǎn)品概述

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域化工,石油,電子,航天,電氣

VOD-90晶圓芯片高溫烘箱400度真空充氮烤箱

本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無(wú)氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。

型號(hào)

VOD-90

VOD-210

VOD-216

真空度

≤10 pa

電源

AC380V 3φ 50HZ

功率(KW)

12

18

20

工作環(huán)境溫度

 

性能

溫度范圍

RT+10℃~450

升溫時(shí)間

2 /minute~4 ℃/minute

降溫時(shí)間

2 /minute~4 ℃/minute

(400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)

結(jié)構(gòu)

外殼

冷扎碳鋼板,經(jīng)防銹處理后靜電噴塑,耐劃傷

內(nèi)膽

5mm厚,SUS304不銹鋼,不銹鋼內(nèi)外表面拋光

保溫材料

厚度150毫米硅酸保溫棉,保溫性能良好

箱門

真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護(hù).(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個(gè)月更換一次)

真空泵

LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購(gòu)真空泵,或者制定真空泵型號(hào));

加熱系統(tǒng)

四面輻射加熱

電器系統(tǒng)

系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮?dú)鈫⑼#?nbsp;

溫控輸出

SSR輸出,歐姆龍繼電器,固態(tài)繼電器  

安全保護(hù)

加熱電流過(guò)流、系統(tǒng)短路保護(hù)、電壓過(guò)壓保護(hù)、真空泵過(guò)負(fù)載、

缺相保護(hù)、電爐超溫報(bào)警等功能

內(nèi)容積(L))

91

215

252

內(nèi)部尺寸(㎜)

W450×D450×H450

W560×D640×H600

W700×D600×H600

外部尺寸(㎜)

W800×D800×H1715

W910×D990×H1865

W1050×D950×H1865

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